膜べり量

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即ち、現像後の膜べり量を10秒で割り、レジスト膜のアルカリ現像液に対する溶解速度（nm／s）とした。


求解对应的中文和英语

“膜べり量”
我觉得可以拆成

膜（まく）＋減り（へり）＋量（りょう）

即膜的减少量 或 膜的变薄程度

如果放在句子里翻译，则译成“膜的被腐蚀过程”比较合适

如有错请楼下指教